ATM-12000DR
本装置是用於8 inch, 12 inch Wafer, Mount到 Dicing frame之後、再將Wafer表面上的保護剝離的全自動機型
特長:
將Wafer於真空中做貼付方式.可得到沒有氣泡混入順利貼付。
尚有、可以用超低荷重方式貼付、Wafer不會有任何Damage損傷。
wafer保護Tape剝離的獨特技術,採用先端Heat Press方式、安定的順利剝離。
有機EL製造裝置
日立造船的有機EL製造裝置，是利用本公司獨自的面蒸發源技術，實現高產能與高材料的利用效率。由於為靜止蒸鍍膜方式，因此可期望搭載於大型基板上。運用至目前為止累積的技術進行蒸鍍裝置的提案、設計、製造，從單一蒸鍍室的實驗用裝置，到由多個蒸鍍室與搬運室組成的群組型大型量產裝置，可根據顧客的需求來供應。
食品和醫藥充填、包裝生產線系統
日立造船在群眾的生活上必不可少的食品和醫藥、化學產品等的生產系統方面擁有為數眾多的銷售實績。因而形成顧慮安全性，且注重高效生產性的產品規格。以充填機為代表，包含洗淨、包裝、搬運在內，提供集中式的生產系統。
真空裝置、真空機器
日立造船在FPD、半導體、電子零件，以及太陽能電池相關領域上，從研發用到量產用，設計並製造各種真空裝置（蒸鍍裝置、濺射裝置等）。另外，提供由各種真空裝置與精密捲繞真空鍍膜裝置（Roll to Roll）製成連續成膜的樣品，並為客戶推薦最合適的裝置。
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